真空鍍膜技術(shù)中常見(jiàn)的真空泵,真空鍍膜技術(shù)是真空泵應(yīng)用技術(shù)的一個(gè)重要分支,它已普遍地應(yīng)用于光學(xué)、電子學(xué)、能源開(kāi)發(fā),理化儀器、建筑機(jī)械、包裝、民用制品、外表科學(xué)以及科學(xué)研討等范疇中。
真空鍍膜所采用的辦法主要有蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流堆積鍍以及分子束外延等。此外還有化學(xué)氣相堆積法。假如從真空鍍膜的目的是為了改動(dòng)物質(zhì)外表的物理、化學(xué)性能的話,這一技術(shù)又是真空外表處置技術(shù)中的重要組成局部?,F(xiàn)就其幾個(gè)主要應(yīng)用方面做一簡(jiǎn)單引見(jiàn)。首先在光學(xué)方面,一塊光學(xué)玻璃或石英外表上鍍一層或幾層不同物質(zhì)的薄膜后,即可成為高反射或無(wú)反射(即增透膜)或者作任何預(yù)期比例的反射或透射資料,也能夠作成對(duì)某種波長(zhǎng)的吸收,而對(duì)另一種波長(zhǎng)的透射的濾色片。高反射膜從大口徑的天文望遠(yuǎn)鏡和各種激光器開(kāi)端、不斷到新型建筑物的大窗鍍膜茉莉,都很需求。增透膜則大量用于照相和各種激光器開(kāi)端、不斷到新型建筑物的大窗鍍膜玻璃,都很需求。增透膜則大量用于照相機(jī)和電視攝象機(jī)的鏡頭上。
在電子學(xué)方面真空鍍膜更占有極為重要的位置。各種范圍的繼承電路。包括存貯器、運(yùn)算器、通知邏輯元件等都要采用導(dǎo)電膜、絕緣膜和維護(hù)膜。作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。